氮化镓微型发光二极管阵列 单片集成微透镜蓝宝石

 
 

氮化镓微发光二极管(微型LED)与单片集成微透镜已被证实。微透镜,具有44微米的焦距和均方根的〜 1nm的方微型LED粗糙度,已被制作在微型LED的阵列的一个蓝宝石衬底的抛光后表面由抗蚀剂热回流和等离子体蚀刻。微透镜的光学性质已经证明,以改变LED发射器的发射模式。光从这种混合装置发出的锥显著比传统的广泛区域的设备少发散。的微型发光二极管和微透镜技术的结合提供了用于在基于氮化镓的发光体的整体效率进一步提高的潜力。

基于单晶氮化镓金属半导体场效应晶体管( MESFET )的制备和表征。氮化镓层是使用低pressuremetalorganic化学气相沉积沉积在蓝宝石衬底上。 MESFET器件是捏造的使用TiAu为源隔离的台地和漏欧姆接触和银色的门肖特基。为具有4微米的栅极长度装置(通道开放,即,源极到漏极的10μm的分离), 23毫秒一个跨导/毫米是在-1 V栅极偏压得到。观察到-12 V的栅极电位完全夹断。


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