非极性的Zn1-xMgxO（0≤X≤0.113）薄膜的外延生长和表征：γ-铝酸锂和蓝宝石衬底的比较

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2013年12月18日星期三 10:50; 点击数：2642

γ-铝酸锂和蓝宝石基板已通过采用有机金属化学气相沉积生长的Zn1非极性-xMgxO薄膜。的Zn1-xMgxO薄膜与不同蓝宝石衬底 Mg含量（0≤X≤0.113）通过调整在气相中的镁金属有机前体的分压得到的。 Mg原子结合的电影代锌的能力范围内。无偏析相如MgO或Mg金属在整个的Zn1-xMgxO膜中观察到。的膜的结构表征表明，γ-铝酸锂是一种高级的衬底为蓝宝石的非极性的Zn1-xMgxO薄膜的生长。

外延的Zn1-xMgxO薄膜成功地生长在γ-铝酸锂基板与ZMO劳和ZMO LAO的外延关系。在另一方面，Zn1-xMgxO薄膜既和方位在蓝宝石衬底上获得的Zn1虽然-xMgxO成为主导随着Mg含量。此外，外延的Zn1-xMgxO薄膜的室温下的阴极发光光谱表明的近带边发射的随Mg含量明显蓝移，这表明带隙工程中的γ-铝酸锂衬底上外延非极性的Zn1-xMgxO薄膜。

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