隔热玻璃用氧化钨薄膜

隔热玻璃用氧化钨薄膜可以通过磁控溅射法制备得到。那么，你知道磁控溅射法制备氧化钨薄膜的基本方法吗？

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磁控溅射法制备氧化钨薄膜的基本方法

用Ar+O2混合气或Ar气为工作气体，用氧化钨或金属钨为靶材，通过在靶材上施加高压产生异常辉光放电，使带电的Ar+离子轰击靶材，靶材表面的原子和原子簇以离子形态被剥离出来并沉积于基底表面形成氧化钨电致变色薄膜。

据专家介绍，磁控溅射是一种常见的镀膜方法，具有很多优点，如成膜速度快，薄膜颗粒粒径均匀，致密性良好，薄膜与FTO导电玻璃之间的结合性好等等。

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