电致变色：掺Ti三氧化钨薄膜

说起电致变色，很多人会想到WO3薄膜，也肯定有不少人会联想到掺Ti三氧化钨薄膜。例如，想起了有专家制备了Ti掺杂WO3薄膜，为了研究不同氧气分压对薄膜结构性能影响。具体的制备步骤如下：

更多内容请访问：
http://www.tungsten-powder.com/chinese/tungsten_oxide.html

使用钨钛合金（含钛质量分数6%）作为靶材，在FTO透明导电玻璃（方块电阻为～20Ω）基底上通过脉冲直流电源反应溅射沉积了Ti掺杂WO3薄膜。溅射前本底真空抽至低于4.5*10-4Pa，高纯氩气（99.9%Ar）作为工作气体，高纯氧气（99.9%O2）作为反应气体，基片温度350℃，固定工作气压1.7Pa，通过改变通入O2流量7sccm、9sccm、13sccm、15sccm，沉积了不同氧气分压Ti掺杂WO3薄膜。因为工作气压固定不变，当O2流量增大，Ar分压下降，单位时间内轰击靶材表面的Ar+数量减少，溅射出的W原子减少，导致沉积速率下降。

• < 上页
• 下页 >