镀铝机用钨加热子操作流程——安装钨丝

钨加热子具有较高的熔点和高耐腐蚀性，所以广泛应用于真空镀铝工业。镀铝机是在真空条件下，利用电子束加热待蒸材料，使之气化蒸发后凝结在晶片表面上成膜的设备。在安装钨丝的时候有些注意事项需要操作员严格操作。

放置钨丝要平行，螺丝紧固不可松动，（钨丝不平行的情况下进行加热，会导致铝融化后向高处流，导致崩溅或钨丝结晶无法使用。螺丝没有紧固会影响蒸发电流不稳导致崩溅，或钨丝烧断）。放置钼丝时要把开口处向上倾斜一点进行紧固，（倾斜是为了氟化镁容易放进钼丝内防止材料脱落影响托铝）。放置锡纸板要全新干净平整，且折边处无翘起，（使用后的锡纸会变色，且电击处氧化无光泽的话，如果再使用会起不到离子轰击效果，从而导致工件吸铝效果不好影响到托铝，有翘起锡纸板会导致连电无法离子轰击)。安装挂具时要紧固好固定螺丝以免转动时挂具脱落影响镀铝。放上工件时手不要接触工件镀铝的一面，（以免镀铝后产生手印、手套上的油污﹑汗水而产生发黄或发黑的工件。就算没有这样的显现也会影响到实验托铝)，放在挂具上的工件要牢牢紧固以免脱落，影响镀铝或是划伤其他工件。

镀铝时间过长，导致钨丝直接烤工件表面铝层，产生氧化发黄。钨丝表面残留铝如果过多，钨丝加热时会滴落到托盘上，就会产生崩溅。钨丝使用时间过长，蒸发时断开就会产生崩溅。

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