真空镀膜用钨舟的注意事项

在进行真空镀膜时人们常常因为没有注意一些小的细节而导致镀膜不成功，相比其他行业，真空镀膜属于非常环保的工艺，电磁辐射很小，所以对人体的危害也比较小。因此，操作者应该通过细节来提高真空镀膜的工作效率。

首先是要注意真空镀膜的工作环境的维护。要保证加工真空镀膜工艺衬底表面进行过清洁的处理。要达到工件去油、去污和脱水的目的。在工件进行加工、传输、包装的过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物质会污染基片表面。在潮湿的情况下，工件表面的物质会生成氧化膜。如发生这种情况可采用去油或化学清洗方法将其去掉。如果没有对表面进行清洗处理，那么就不能将其置放在大气环境中，要用封闭容器或保洁柜贮存，从而减小灰尘的污染。针对高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，最好贮存在真空干燥箱中。

除了环境的维护，还应该规范操作员的操作流程。在开启真空镀膜机的时候，要先打开水管，要对水压进行不间断的观察。当离子轰击和蒸发的时候，不能触动高压线头，避免发生触电。在进行观察时要带上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。镀制多层介质膜的镀膜期间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。结束工作后要及时断电、断水。全程操作人员都要佩戴完整的保护和清洁套具。

钨舟是真空镀膜的重要电阻式蒸发源，而钨舟的类型较多，因此要挑选相对应类型的钨舟进行镀膜。而且钨舟的表面不能有裂痕，要保持光滑平坦。如发现钨舟有破损现象，应立即更换。

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