石英连熔炉用钨坩埚

石英玻璃是一种只含二氧化硅单一成份的特种玻璃，其微观结构是一种由二氧化硅四面结构体结构单元组成的单纯网络，具有紧密的结构，其中透明石英玻璃的光学性能非常优异，在紫外到红外辐射的连续波长范围都有优良的透射比。通过连熔炉制备的石英玻璃可广泛应用与半导体生产的各项工序中。

钨坩埚具有熔点高，沸点高，高温强度好的优良特性，因此广泛应用于石英玻璃连熔炉中。目前主要的工艺装备是将钼电极和64根钼棒装置在连熔炉内的加热装置，这些钼电极和钼棒均匀的散布在钨坩埚的周围。当电极导电加热时，作为导电发热体的64根钼棒会使钨坩埚不断升温。但是，该工艺设备有一个比较严重的缺陷。当这64根钼棒作为导电发热体时，钼棒之间存在的8-12mm的距离问题会造成钨坩埚的升温不均，从而延长了钨坩埚的升温时间，这样会大大降低连熔炉的生产效率。可以将连熔炉中的钨坩埚的顶部设置加料管和钨芯杆保护气的入口，在钨坩埚底部放置成型器料台，料台中间应该设有成型口，并且将加热装置放在钨坩埚的外部。用钼网代替钼棒均匀的覆盖钨坩埚的表面。钼网的均匀覆盖可以使钨坩埚受热均匀，以此有效解决成型石英管的气泡和气线内在的质量问题。

钨坩埚除了广泛应用于石英连熔炉，还对粉末冶金技术，电子喷涂，晶体生长具有重要作用。

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