探究三氧化钨薄膜透光率

透光率是一个物理词汇，是表示显示设备等的透过光的效率，是透过透明或半透明体的光通量与其入射光通量的百分率。它表示显示设备等的透过光的效率，它直接影响到触摸屏的视觉效果。很多触摸屏是多层的复合薄膜，仅用透明一点来概括它的视觉效果是不够的，它至少应该包括四个特性：透明度、色彩失真度、反光性和清晰度、镜面反光程度和衍射反光程度。

采用XRD-600衍射仪对不同方法制备的三氧化钨薄膜的结构形态进行分析。实验发现，通过比较溶胶-凝胶法和磁控溅射法制得的三氧化钨薄膜在退火前透光率相似，在300℃以上退火处理后薄膜样品的透光率下降，且退火温度越高，透光率越低。在350℃以下退火处理得到的三氧化钨薄膜样品为非晶态，350~400℃范围内退火时，薄膜样品逐渐完成非晶态到晶态的转变，在400℃以上退火处理后，衬底也产生了晶体衍射峰。

不同温度下退火处理得到的三氧化钨薄膜样品的形态不同。另外，三氧化钨薄膜的结构形态和光学性质对其气敏性能有很大的影响，例如非晶态结构薄膜相对疏松多孔，利于吸附气体，对氢气的灵敏度可能高于晶态结构的薄膜。

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