抑制钨管表面横向裂纹的产生方法(2)

沉积基体去除过程的控制。

若是采用真空熔化的方法来去除沉积基体,升温速度要缓慢,尤其是超过沉积温度至铜的熔点段。该方法是较优的选择方案,因为,采用该方法可以使得去除沉积基体与钨管去应力退火处理同时进行。一方面,可以抑制钨管表面横向裂纹的产生;另一方面,沉积基体材料可以直接回收。

若是采用硝酸溶液,则硝酸的溶液浓度应该小于35%。因为沉积基体的腐蚀速度若是过快的话,钨管的应力释放速度也会过快,而且还会使得沉积基体的腐蚀不均匀,导致钨管在沉积基体去除过程产生裂纹。

 

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