CVD 钨管的表面粗糙度

钨管的表面粗糙度受沉积温度的影响显著,其粗糙度随沉积温度的升高而增加。

当沉积温度从600℃升至700℃时,钨管的表面粗糙度明显加大。所以,沉积温度应控制在600℃左右,以获得表面光洁、平整度良好的沉积钨管。

钨管的表面粗糙度主要受膜层生长表面形貌和沉积层组织的影响。若是沉积生长界面(呈现柱状晶)的稳定性较好,则膜层表面的平整度是最好的。随着温度升高到一定程度,被还原的W原子会在沉积生长界面再次形核并继续生长,也就是说,高温导致沉积层显微组织和沉积生长界面发生改变,最终导致钨管的表面粗糙程度增加。


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