基体管径对化学气相沉积钨管组织形貌的影响

实验材料及试剂如下：
H₂：高纯；
WF₆：高纯；
Ar：高纯，用于排空反应系统中的空气；
沉积基体：紫铜管（管径：6mm、10mm、16mm、35mm）；

相同沉积温度（600℃）条件下，不同管径（6mm、10mm、16mm、35mm）沉积基体获得的钨涂层的组织形貌都是细小的柱状晶且其生长方向几乎与铜管径向相同。通过对以上条件下获得的钨涂层的显微形貌的对比发现，在后续钨管沉积工艺的参数中，可以忽略沉积基体管径对钨管显微组织形貌的影响。


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