离子源灯丝简介

详细资料: 分类：钨业知识; 发布于 2015年5月27日星期三 16:44; 作者：Yahong; 点击数：2145

离子源灯丝是科研应用和半导体制造设备不可或缺的组成部分，已经被用于生产H-离子的高电流等其他方面。其性能的主要不足之处是由内部金属表面产生的高能电子会逃逸。因此，设计了永久磁铁产生的磁静态字段，以此用永久磁铁的数量较少夺回更多的高能电子，从而避免这一问题。离子源灯丝有单个螺旋的圆柱形灯丝、扁平螺旋形灯丝和平面状的长丝等类型。为满足设备的要求和功能，我们可以适当的修改灯丝配置和规范。用于制造离子源灯丝最常见的功能性材料是钨。钨材料离子源灯丝与其他材料相比，具有优越性。

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