硬质合金刀具涂层方法-溅射镀膜
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- 分类:钨业知识
- 发布于 2015年3月05日 星期四 11:07
- 作者:yewq
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硬质合金刀具溅射镀膜涂层方法是在真空条件下,用具有一定能量的荷能粒子轰击材料的表面,使得被轰击的材料的原子获得足够的能量,脱离原材料点阵的束缚,进入气相,这种技术就是溅射技术。可以利用溅射出的气相元素进行沉积成膜,这种沉积过程被称为溅射镀膜。
硬质合金刀具溅射镀膜涂层方法有许多优点:如可实现大面积沉积;几乎所有金属、化合物、介质均可作成靶,在不同材料的衬底上得到相应薄膜;可以大规模连续生产。因此,硬质合金刀具溅射镀膜涂层技术在电子学、光学、磁学、机械、仪表等行业获得广泛应用。硬质合金刀具溅射镀膜可根据产生溅射离子的方法分为直流溅射镀膜、射频溅射镀膜、磁控溅射镀膜及离子束溅射镀膜等。其中最有代表性的是磁控溅射镀膜方法。
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