制备钨铼热电偶丝抗氧化涂层方法-磁控溅射法

钨铼热电偶丝具有熔点高，强度大，蒸汽压低，但极易氧化的特点。在非氧化性气氛中化学稳定性好，在惰性气体中短时间工作温度甚至可达3000℃，热电势大，灵敏度高，热电势绝对值是铂铑热电偶的2-3倍。随着高温传感器应用范围的扩展以及使用温度的不断提高，高温下抗氧化问题成为了提高传感器性能的重要问题之一，为了防止结构材料在高温下的氧化可通过在钨铼热电偶丝的表面增加抗氧化涂层从而降低该热电偶被氧化的可能性。以下介绍制备钨铼热电偶丝抗氧化涂层磁控溅射法。

磁控溅射法师目前抗氧化涂层工艺中应用较为广泛，工艺成熟的方法之一。其制备方法是，首先以钨铼热电偶丝为基体，利用加速的电子与氩原子发生碰撞，产生大量氩离子和电子，电子飞向基体，氩离子在电场作用下飞向靶材。氩离子轰击靶材，溅射处中性的靶原子，最终，在这些靶原子的基体上不断沉积形成所需的薄膜，即为钨铼热电偶丝抗氧化涂层。

磁控溅射法制备的抗氧化涂层具有成膜速率高，膜厚可控，重复性较好，且具有较好的附着性。




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