制备三氧化钨薄膜-醇盐搅拌法
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- 分类:钨业知识
- 发布于 2014年9月02日 星期二 15:09
- 作者:liwj
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制备三氧化钨薄膜-醇盐搅拌法,首先采用WOCl4作为先驱液。将3g WOCl4溶解在15.3g正丙醇中,并在手套箱中不断搅拌。为了避免在溶胶形成的过程中发生凝胶现象,加入10-20ml的乙酰丙酮作为表面活化剂,再加入7ml稀释(1M)的盐酸,以增强其反浸润特性。然后将制得的上述溶液通过过滤器滴在高速旋转的镀有ITO导电膜的玻璃基片上,多余的溶液被转速为3000r/m至750r/m或1500r/m的涂膜机甩出,保持该速度60s,将制得的薄膜在180℃的温度下热处理20min,最后得到粒径为190nm的三氧化钨薄膜。
经研究表明,该制备工艺在热处理前后,膜密度的变化后发现,三氧化钨薄膜密度相对于体材料密度(7.16g/cm³)较低,在热处理前为0.57,180℃退火后为0.64,膜为六方相的微晶结构。
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