碳基钨涂层 制备方法

本发明介绍一种碳基钨涂层，其特征在于：包含碳基体和钨涂层两部分，均匀致密且具有一定厚度的钨涂层牢固地附着在碳基体表面。纯净的钨板作为靶材。碳材料作为基体，优先选择Ｃ／Ｃ复合材料和石墨。

本发明的优点在于：

１）钨涂层沉积速度较快，大大提高了涂层制备的效率；

２）钨靶和碳基体之间产生高密度的等离子云，大量的钨原子不但覆盖在碳基体表面，基体的侧面和背面也包附了钨涂层；

３）涂层表面致密，没有出现裂纹；

４）涂层和Ｃ／Ｃ复合材料基体结合较好。

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