电子微探针用钨针

钨针是以难熔金属钨粉为主要原料，镍粉或铁粉为辅助材料的一种合金产品；是钨棒通过拉拔机械加工，制成所需要尺寸和形状的物体，是电子微探针中一种常用的探针材料。

清华大学微电子所EPS4型探针台

电子微探针是结合运用电子显微镜技术和X射线分光技术的电子光学式分析仪器，主要利用X射线荧光进行定性和定量分析，广泛用于矿物、冶金、机械、电子和生物学等领域，尤其适用于对合金的显微组织和相成分的研究分析。

使用钨针做探针材料的优势在于提高电子光学式分析仪器的灵敏度、稳定性、精确性和准确性等。

具体来说，钨针因具有比其他金属探针更高的熔点（3422℃）和更好的耐高温性能，而可以在高温的条件下稳定工作，同时能承受得了较高的电流密度和能量密度，有利于提高探针的灵敏度和稳定性。

中钨在线钨针图片

钨针因具有很好的化学稳定性和耐腐蚀性，即对氧气、水蒸气和其他气体不敏感，以及不易与其他物质发生化学反应的现象，而有利于提高探针的精确性和准确性，以及降低更换新探针的频率。

钨针因具有高密度、小体积、高强度、良好刚性、不易变形或折断的优点，而有利于探针与样品之间距离的调整，同时有利于延长探针材料的使用寿命。

另外，钨针由于直径较小，通常在0.1-1微米之间，而方便操作，可以使探针在微小的区域进行分析，尤其适合于纳米级别的材料表面分析。

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