钨铌靶材的改性

钨铌靶材具有高强度、高硬度、耐磨、耐腐蚀和良好耐热性能等特点，因而广泛应用于高压、高转速、高温、腐蚀性介质等工作环境。然而，在溅射过程中，靶材的边缘处会留有溅射产生的颗粒物，而这些颗粒物一旦剥落，不仅会影响溅射环境，还降低产品质量。为了解决这个问题，现有技术对该靶材的部分非溅射区域进行了改性，即经过喷砂的部分的表面较粗糙，更容易吸附颗粒物，以减低剥落概率。

钨铌靶材喷砂处理的具体过程如下：

（1）制备靶材

用钨粉和铌粉作为原材料，然后装入混料机进行混合，后将混合粉装入管状橡胶模套内，再用冷等静压机进行压制成型得到靶材坯体，靶材坯体经过烧结，冷却，粗车，细磨等工序，即可得到所需要的靶材；

（2）改性处理

在物理气相沉积设备的镀膜室装入合金阴极靶材，然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台；关闭镀膜室门，设定气相沉积参数，进行物理气相沉积镀膜；将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理，即可得到表面金属化改性的钨铌靶材。

注意：物理气相沉积过程的参数设定为：预抽本底真空至3.0×10-3Pa以下，通入氦气，镀膜过程中溅射气压设定在1～5Pa；样品加热温度为150～250℃；靶材功率密度范围为10～25W/cm2；滚筒式沉积台的转速为20～35r/min；振动系统的振动频率为15～40Hz；镀膜时间为5～10h。步骤（2）中热处理是在真空下进行的，真空度可控制在1×10-5～1×10-3Pa的范围内，热处理温度设定在500～700℃的范围内，热处理保温时间设定为50～80min，随炉冷却。

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