电子电器用钨铜涂层
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- 分类:钨业知识
- 发布于 2021年4月26日 星期一 20:11
- 作者:Xiaoting
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作为电子电器的重要散热型材料,传统的钨铜涂层由于存在厚度较大、致密度较低、比例和材料尺寸不够完全的缺点,而较难应用于半导体芯片中。此外,涂层与基体之间的结合不牢固和热膨胀系数相差大,都是引起热应力的主要因素,进而导致芯片损坏。为了解决上述的问题,研究者设计出了一种涂层材料的新制备方法。
新型散热型铜钨涂层材料的质量百分比的组分如下:钨占70-90%、铜占10-28%、铁占0-1%、钴占0-0.85%、微量元素占0-0.15%。所述微量元素为钯、镍、锡。其生产步骤如下:
(1)将按比例配制的涂层粉末混合后,团聚烧结。(2)取无氧铜基体进行机械加工,表面清洗,喷砂。(3)将烧结后的涂层粉末通过等离子喷涂到步骤二后的无氧铜基体上,形成涂层。(4)对等离子喷涂后的无氧铜基体表面进行激光重熔。(5)重熔后的无氧铜基体进行机械加工和研磨抛光。(6)在抛光完成后的无氧铜基体上镀Ni/Au层。(7)质量检验,合格后入库。
该生产技术的注意事项如下:
1)步骤(1)中的涂层粉末制作方式为化学法或喷雾法中的任一种。
2)步骤(3)中的等离子喷涂方式为超音速真空等离子喷涂,所述喷涂的工艺参数包括基体温度、送粉量、燃气压力和流量、电源功率、喷涂距离、喷涂角度、喷涂线速度、主气及送粉气流量。
3)步骤(4)的激光重熔采用高功率激光设备,高功率激光设备包括固体激光器和光纤激光器。
4)步骤(6)中的镀Ni/Au层为镀Ni层或镀Ni-Au层中的任一种,镀Ni层为厚度2μm的Ni,镀Au层为厚度2.5μm的Ni和2.5μm的Au。
5)制备结束后得到的涂层厚度为50-500μm。
该生产方法的优势是,在钨铜涂层粉末内添加钴能够提高扩散的钨粉和铜粉之间的结合,混杂一定组份的铁能够提高钨骨架的强度,更能发挥活化烧结的作用,锡粉能够实现铜粉和钨粉在雾化时的合金连接,使得制成的钨铜涂层的致密度更高,将含微量合金盐类钯、镍、锡涂于粉末颗粒表面,通过化学反应形成具有均匀结构和高活性的薄层,使粉末表面活性增大能提高钨铜涂层的致密度。
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