薄膜型气敏元件用WO3薄膜

WO3薄膜是一种n型半导体，也是一种极佳的薄膜型气敏元件，具有一致性好、对气氛的敏感性好、响应快、成本低等优点，很适合作为气体传感器。研究表明，WO3基薄膜型气敏元件对NOx、SOx、H2S等气体都具有较好的敏感特性和选择性。

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WO3薄膜通常采用溶胶-凝胶法制备得到。因为溶胶-凝胶法具有许多其它方法无法比拟的优点，例如，可以方便地通过控制制备条件来控制薄膜的厚度、粒径以及其组成，而且，该制备方法所需的设备简单，热处理温度低。

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