随着环境保护受关注度日益提高，空气质量也越来越受到人们的重视；出于环境保护、提高空气质量的目的，对高灵敏度、低成本、易维护的气体传感器的开发也越加迫切，进而有效得对各种有毒、有害、易燃、易爆等气体进行检测和检验。化学气体传感器中的金属氧化物半导体传感器由于具有高灵敏度、响应快、成本低等优点而被广泛研究。

 

氧化钨（WO₃）是一种常见的金属氧化物半导体气敏材料，由于它的工作温度较低、灵敏度较高，而成为近年来重点研究的方向之一。WO₃是一种过渡金属氧化物，其熔点为1473 °C，沸点为1837°C；具有很强的耐酸性，除了氢氟酸（HF）外，WO₃几乎不与其它无机酸反应。三氧化钨是一种宽带隙的n型半导体，其禁带宽度约为2.4eV~2.8 eV。在特定的目标气氛下，三氧化钨的表面会与目标分子发生氧化或者还原反应，三氧化钨的导电性发生改变，其具体为：

1. 当目标气体为氧化性气体时，WO₃导电率下降，电阻值上升；

2. 当目标气体为还原性气体时，WO₃导电率上升，电阻值下降。

 

研究结果显示，三氧化钨气敏传感器能够用于二氧化硫气体的检测。二氧化硫是大气主要污染物之一，其常见的检测方法有两种，即物理方法和化学及电化学方法。文常保等用钨粉、过氧化氢、甲醇和PVP（聚乙烯吡咯烷酮）作为原料，利用化学和热喷射方法制备了三氧化钨薄膜，这种薄膜具有多微孔状结构、吸附热小、吸附气体快等优点，有利于二氧化硫气体的吸附。在1.43*10³~57.2*10³μg/m³气体浓度范围内，其对二氧化硫的灵敏度达到了6.8。Boudiba等用丝网印刷法在氧化铝陶瓷基板上制备WO₃气体传感器，经测试，这种传感器在200~300°C范围内，对2.86*10³~28.6*10³μg/ m³的二氧化硫具有良好的响应性。