真空镀膜机用钨加热子注意事项

所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，通过钨加热子采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。真空镀膜机操作应注意事项：

1.设备要经常保持清洁，特别是钟罩内各零部件，要定期用NaOH液清洗，不许有灰尘杂质和油污。
2.未经培训的人员不许单独操作设备。操作工必须严格执行镀膜机操作程序；操作工应该明白，操作顺序有一项失误，就可能导致损坏设备零件。特别是电离管极易烧坏。
3.开扩散泵前必须通水冷却。冷却水最好用经处理的软化水，防止循环水管路结垢，影响水冷却效果。如果自来水冷却，注意应定期（1~2年）用20%盐酸水清洗。操作时应带胶皮手套和眼镜。
4. PVDF薄膜的镀金属电极工作，不用烘烤程序。订购镀膜机时不用带此部分零部件。
5.转动调压器手轮时，动作要缓慢，不许用急速冲击动作操作方式工作，因为移动碳刷容易磨损和折断。
6.钟罩升降要注意安全，不许用手锤类硬工具撞击钟罩机座的结合面，防止划伤和冲击痕出现，影响钟罩与机座  结合面的密封效果。
7.注意经常检查真空泵内润滑油量，做到及时补足润滑油。扩散泵内用油和钟罩升降丝杠润滑要定期加油。
8.真空泵检修时要由有经验的维修钳工维修，零件拆卸和维修时不许用手锤敲击和刮刀修理零件。加润滑油和换油，一定要经过滤后再注入泵体内。

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