随着纳米测量技术的发展，对于能够实现纳米级定位的多自由度微动工作台的研究越来越受到人们的重视。微动工作台驱动元件的选择和使用直接影响着最终的性能指标。目前，在实践中采用的微小位移驱动元件有很多种，而压电陶瓷驱动器以其体积小、重量轻、驱动电压不高、精度和位移分辨率高、频率响应快、不发热、不产生噪声、承载力大等特性，成为微定位控制领域应用最广的驱动元件之一。

 

但是，压电陶瓷材料所固有的非线性特性、迟滞特性、蠕变特性等，都大大限制了压电陶瓷驱动器定位精度的进一步提高，其中迟滞误差对精度的影响最大。因此，如何改善压电陶瓷驱动器的迟滞特性成为我们实现超精密定位所需解决的首要问题。对此国内外专家学者进行了大量的研究，并提出了一系列的理论和方法来改善其特性。目前在驱动器的开环或半闭环控制中提出的减小迟滞的方法主要有：（1）电荷控制法；（2）在压电陶瓷两端串联小电容的方法；（3）Preisach模型；（4）通用化的Maxwell模型；（5）多项式近似模型；（6）采用电容和电阻组成桥路。这些方法大都是通过建立复杂的数学模型来进行控制。

 

研究采用了一种新型的硬性钨青铜结构的压电陶瓷驱动器，这种驱动器和软性的钙钛矿结构压电陶瓷驱动器相比，迟滞特性、蠕变误差均有很大改善，特别在性能方面上比较稳定。根据其电畴结构与晶体结构在变形过程中产生迟滞的主要原因，有学者提出了一种新的“抗迟滞”驱动方式，“抗迟滞”驱动方法可以大大降低压电陶瓷驱动器迟滞误差的影响，可用于在控制过程中不要求连续定位的微动器件的高精度开环控制，大大改善了压电陶瓷驱动器的迟滞特性。