纳米结构三氧化钨可以采用溅射法、水热法、溶胶凝胶法、热蒸发法、化学气相沉积法、阳极氧化法以及模板法等方法制备得到。

有专家提出一种制备形貌良好、由单斜相三氧化钨纳米片构成的具有高光电性能的WO3薄膜的方法，具体步骤如下：

三氧化钨是一种重要的无机光致变色材料，在智能窗方面具有较好的应用前景。此外，WO3在光催化、大屏幕显示、高密度信息存储等领域中也具有较好的应用前景，因而，引起了科学家的广泛关注。

高光电性能氧化钨薄膜可以采用水热法制备得到。其中，专家采用盐酸和杂多酸共同酸化。他们发现，在酸化过程中掺入少量的杂多酸就能较大幅度地提高制得的WO3薄膜的光电性能。下面主要介绍该种方法制备高光电性能WO3薄膜的具体步骤：