在c面蓝宝石衬底沿N面极性方向沉积氮化镓薄膜的生长方式和表面形貌

在生长条件下的氮化镓薄膜的极性方向的依赖关系进行了研究，通过改变在供给原料气体或沉积速率任group-V/group-III（ V / III） 。 氮化镓薄膜沉积在氮化蓝宝石两步金属有机物化学气相沉积。从平面六角形的表面形态改变为锥体六角形小面的V / III比的增加。然而氮化镓构成的20nm的厚度的优化的缓冲层的极性方向是N面（ -c）的极性，独立的两个V / III比，沉积速率。

在氮化镓外延层的极性可通过该接口在氮化镓外延层的沉积（氮化的蓝宝石，退火缓冲层或氮化镓基板）来确定。高V / III比增强成核密度，并减少六边形的小平面的大小。细胞核，形成纤锌矿结构的氮化镓的有利六边形的小平面，横向应一起成长的方向覆盖面，直到聚结之间的空间。合并后，-c氮化镓生长在一个平面六边形面导致锥体六角面。生长模式-C的氮化镓已经相对于表面结构和吸附前体的迁移长度所讨论的，在镓面（ + C ）的氮化镓比较。


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