非晶三氧化钨薄膜

专家表示,相比于有着四边形隧道的晶态三氧化钨薄膜,非晶三氧化钨薄膜能形成更大的结构空隙,因为其除了具有四边形隧道外,还具有五边形、六边形等无规则的网络结构。

非晶三氧化钨薄膜图片

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非晶三氧化钨薄膜图片

对此,专家解释到,非晶态WO3薄膜的这种结构更有利于薄膜工作时离子的注入和抽出,即能改善薄膜的响应速率和变色性能。但是,若是处理温度过低,则会导致薄膜出现附着力不够,空洞过大,不耐酸碱等负作用,因此,热处理温度需要选择最佳的数值——220℃。当三氧化钨薄膜的热处理温度低于220℃时,为非晶态,在此热处理温度之上则开始转化为晶态。

 

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