半极性氮化镓层通过控制各向异性增长率R面的图形化蓝宝石衬底上生长

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月23日星期四 11:01; 点击数：2646

半极性的氮化镓通过控制在无掩模r面图案化蓝宝石衬底的各向异性生长速率来实现。经优化的生长条件下，对蚀刻的c面状蓝宝石氮化镓层的生长速度比在其它平面，如原始r面蓝宝石高得多。奇导向的氮化镓证实当氮化镓生长仅在c面状蓝宝石侧壁。的各向异性生长速度的控制是使用无掩模图案的基板成长非极性和半极性层非常有用。

描述了通过有机金属化学气相沉积在r面蓝宝石衬底的非极性a面氮化镓薄膜生长的结构特征。平坦生长表面已实现并针对设备质量层的电位通过沉积低温成核层之前，高温外延生长实现。在氮化镓相对于该面蓝宝石基板的面内方向被证实是和由于氮化镓薄膜的极性，用会聚光束电子衍射确定这种关系是明确定义的。位错和堆垛层错，在平面图和剖面透射电子显微镜图像观察，主导了氮化镓微观结构与密度分别为亚微米坑和晶体露台上观察到光学镜面的氮化镓表面的原子力显微镜。

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