钨酸粘度影响三氧化钨薄膜氢敏性能

详细资料: 分类：钨业知识; 发布于 2014年9月01日星期一 11:42; 作者：liwj; 点击数：1921

用不同粘度的钨酸制备的三氧化钨薄膜由于膜厚的不同，对氢气的敏感响应性也不一样，以下是钨酸粘度影响三氧化钨薄膜氢敏性能的分析：

钨酸溶液粘度（mpa.s）	80	180	213（溅射后膜中心开始有些龟裂）	244	320	400（膜龟裂很严重）
通入0.2%H2透光率的变化值（%）	11.8	34.7	35.6	37.9	42.4	20.7

由以上表格数据可以看出，当钨酸粘度过小或过大时，其制备的三氧化钨薄膜的氢敏性能都不太好。粘度过小则制备的膜太薄，吸氢能力很容易饱和，故氢敏效果不佳；粘度太大则经退火处理后薄膜很容易龟裂，氢敏效果也不理想，且不能长期稳定保存。可见，应控制好钨酸的粘度，以确保制备出优质的三氧化钨薄膜。

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