钨管的制取实验（CVD）

实验材料：高纯氢气，高纯氩气和高纯六氟化钨和沉积基体：紫铜管。

实验过程（CVD）：

对沉积基体表面进行去污、丙酮清洗、吹干处理，然后将其置于反应室内。

为避免氢气与空气混合发生爆炸，应先通入氩气排空反应室和所有管道的空气。待空气排空后，打开氢气流量针阀通入氢气并将排出的尾气点燃，然后关闭该阀；

对沉积基体进行电流加热，使其达到所需的沉积温度；

把WF₆和H₂按一定比例混合后，通过流量控制设备通入反应室；

WF₆和H₂在沉积基体表面发生化学反应，得到难熔金属沉积层；

在一定的反应时间后，关闭加热电源、反应气体的控制阀，使反应室降温；

待温度降到100℃以下后，取出试样，经过切割，去除沉积基体后获得钨管。

通过改变沉积温度、气体流量可获得不同工艺的钨管，然后再对其进行测试分析。

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