Ti掺杂三氧化钨薄膜是一种新型电致变色薄膜，被逐渐应用于智能窗领域。有专家以金属钨和金属钛作为溅射靶材，在ITO玻璃上制备了Ti掺杂WO3电致变色薄膜。结果表明：

三氧化钨电致变色薄膜可以实现大面积建筑智能窗以及汽车智能玻璃等领域的智能隔热、调光。但是，不是普通的WO3薄膜就能满足智能应用条件的。

三氧化钨薄膜具有变色幅度大、着色效率高等优点，因此，相比其它电致变色材料，氧化钨受到了更为广泛的关注。而应用了WO3薄膜的建筑玻璃是一种智能玻璃，也是未来建筑节能玻璃发展方向。那么，你可是知道WO3薄膜的制备方法有哪些？

Ti掺杂WO3薄膜是指通过掺杂Ti元素获得的掺杂三氧化钨薄膜，多用在建筑玻璃上，以调节阳光中紫外线和近红外线的通过率，起到智能隔热的作用。

结晶态WO3膜是三氧化钨薄膜的一种，另一种为非晶态WO3膜，都是电致变色薄膜。专家表示，结晶程度对氧化钨电致变色相关性能如调制幅度、变色效率等有一定的影响。具体影响，如下：

专家表示，非晶态WO3薄膜具有电致变色效应。其中，薄膜的结构相对疏松，因而有利于锂离子嵌入与抽出。但是，他们也发现了，在循环变色中，薄膜的结构逐渐被破坏，200次循环后光学调制幅度由48.0%降至3.0%，WO3变成棕黄色，不再可以循环变色。

掺杂WO3，更准确地说，纳米级掺杂三氧化钨是未来三氧化钨的研究重点。可能你们也知道，三氧化钨作为一种宽带系的Ｎ型过渡族金属氧化物，在电致变色、气体传感、光催化等方面具有良好的特性，且通过掺杂的方法可提高其电致变色、光致变色、气体传感、光催化等性能，从而使其广泛地应用在气体传感器、电致变色器件、光催化试剂等领域。

纳米WO3薄膜可以采用溅射镀膜法制备得到。例如，有专家在未抛光的Al2O3基片上，采用直流反应磁控溅射法制备了纳米级三氧化钨薄膜。专家表示，磁控溅射是常用的溅射镀膜法。那么，你们可是知道磁控溅射的原理是？

掺杂WO3薄膜可以采用电子束蒸镀法制备得到。其中，电子束蒸镀法是蒸发镀膜法中的一种，而后者又属于物理气相沉积法中的一种。有专家以WO3和CNT的混合粉末为原料，采用电子束蒸镀法在Al2O3基板上制得NWCNT掺杂WO3薄膜。

Ti掺杂WO3可以采用共溅射法制备得到。有专家就是采用的该法制备了Ti掺杂三氧化钨薄膜。他们发现改变反应条件，如，增加氧气室的压力，实验结果如下：