掺Ta三氧化钨就是将Ta2O5与WO3相复合，可以结合两种材料的优势，实现更高的机械和化学相容性，从而提高器件的稳定性和寿命，也就是说，以此复合材料制备得到的电致变色薄膜的性能将得到改善。

钽掺杂氧化钨可以用于制备电致变色薄膜，而钽掺杂的氧化钨电致变色薄膜可以采用磁控溅射方法制备得到，以改善氧化钨电致变色薄膜的电化学循环稳定性。

结晶态三氧化钨膜可以通过磁控溅射沉积再通过热处理获得。通过磁控溅射沉积获得的是非晶态三氧化钨膜，在空气中分别加热200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，并保温30min进行热处理。随着热处理温度的提高，非晶态三氧化钨膜的电致变色性能下降。当热处理温度高于350℃时，非晶态转变成结晶态。

三氧化钨可以用于制备电致变色薄膜，最终以电致变色玻璃即智能窗的形式应用到建筑玻璃上，起到节能降温的作用。

氧化钼掺杂氧化钨电致变色薄膜的着色态和漂白态的颜色都比纯氧化钨薄膜深。这是因为MoO3本身是一种变色特性类似WO3的电致变色材料，其着色态呈蓝紫色，漂白态呈黄色。而纯氧化钨薄膜的着色态呈蓝色，漂白态几乎无色透明。

电致变色材料是一种新颖的智能材料，而氧化钨是目前研究得最多的电致变色材料。

MoO3掺杂黄色氧化钨薄膜具有什么样的电致变色特性呢？

掺MoO3三氧化钨薄膜可以通过电子束蒸发法制备得到。其中，有专家利用电子束蒸发法制备不同MoO3掺杂量的氧化钨薄膜，发现：所得掺杂氧化钨薄膜都具有较好的电致变色性能。

MoO3掺杂氧化钨薄膜可以采用电子束蒸发法在超高真空电子束镀膜机中制备得到，具体地，步骤如下：

掺杂氧化钨可以像氧化钨一样用于制备薄膜。制备什么样的薄膜呢？一种功能薄膜——电致变色膜，最终应用到智能窗上。