大單重鎢板靶材製造要點

大單重鎢板鎢靶材主要用於光伏元件基板的鍍膜，該領域要求採用的鎢板具備尺寸較大，單塊板的重量在80—150公斤，並且具備耐高溫、緻密性較好等特點。

該類產品本身的物理性能直接影響著鍍膜的使用性能，在鍍膜的過程中，由於靶材內部孔隙記憶體在的氣體突然釋放，造成大尺寸的靶材顆粒或微粒飛濺，或成膜之後膜材受到二次電子轟擊造成的微粒飛濺，這些微粒的出現都會降低薄膜品質，為了減少靶材固體中的氣孔，提高薄膜性能，一般要求靶材具有較高的緻密度。

此外，由於靶材原子容易沿原子六方最緊密排列方向擇優濺射出來，因此，為達到最高濺射速率，常通過改變靶材結晶結構的方法來增加濺射速率，靶材的結晶方向對濺射膜層的厚度均勻性影響也較大，因此，獲得一定結晶取向的靶材結構對薄膜的濺射過程至關重要。

為了能保質保量地製造大單重鎢板，需採用純度≥99.95%鎢粉，細微性在2.4—3.2μm，製作步驟如下：

1、將原料裝入橡膠模套內，製備成實心的粉質鎢板坯，然後採用冷等靜壓機成型，壓力為300—400Mpa，8—10分鐘後固體板坯成型；

2、將成型後的固體板坯放入中頻燒結爐中，爐內通入氫氣，加熱溫度為2300℃，加熱時間為28個小時，後採用水迴圈降溫9小時，後冷卻至室溫止，成型坯體備用；

3、將處理後的成型板坯加熱到1300—1400℃，加熱時間為2—3小時，取出後經熱軋機軋製成形，備用；

4、將處理後的鎢板利用濃度為25%—40%氫氧化鈉溶液清洗表面，後切割成所需尺寸，大單重鎢板製作完成。

通過上述流程，所制出的鎢板靶材緻密性較好，相對密度達到99.95%以上，同時使鎢板在二次高溫環境中再結晶，晶粒細化，晶粒度由毫米級減小到微米級，優化了晶粒結構，使用該產品在LED鍍膜時，薄膜的均勻性和佈線品質大大提高，實現了低成本，高效益，滿足了太陽能光伏產品對材料的比阻抗和膜應力的新要求。

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