薄膜敏感材料是研究和開發集成感測器和智慧感測器的基礎，納米三氧化鎢是一種很典型的 N 型半導體氣敏材料，它具有較大的比表面積、穩定的化學性質、帶隙較寬，對多種有毒氣體都具有較好靈敏度，可以有效地提高氣敏元件的靈敏度和回應速度，是良好的氣敏薄膜材料。

機械破碎法是是依靠球磨機內介質的重力以及旋轉產生的擠壓力對物料進行摩擦、衝擊、剪切作用而實現對物料的細化。是制取超細三氧化鎢粉的一種較常用的方法。

三氧化鎢（WO₃）是一種過渡金屬的氧化物，它既是一種 n 型半導體材料， 也是一種“d⁰”氧化物，這種雙重身份使其同時具備諸多特點，近年來，納米三氧化鎢作為一種潛能材料在各種應用領域特別是在氣敏感測器方面引起了廣泛關注。

氧化鎢是一種鎢酸酐，是鎢酸鹽類產品，氧化鎢包括三氧化鎢和二氧化鎢，實際工業生產中很少見有二氧化鎢的製品。常見的幾種氧化鎢為：二氧化鎢、三氧化鎢、藍色氧化鎢、紫色氧化鎢，它們是由於氧含量的不同而展現出各自獨特的物理和化學性質。