六氟化鎢是鎢和氟形成二元化合物WF₆，在鎢的氟化物中，WF₆是唯一穩定並被工業化生產的品種。它的主要用途是用來製備高純鎢粉和作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料。

紫色氧化鎢，即γ-氧化鎢，化學名為WO_2.72，呈紫色或藍紫色細碎晶體狀粉末，紫色氧化鎢具有獨特的細針狀結構，與藍鎢、黃鎢相比，紫鎢具有特殊的表面，化學活性最高，因此，紫鎢最適宜用於超細顆粒鎢粉的生產。

紫色氧化鎢，縮寫為VTO，因其外觀呈紫色而得名，是業界公認制取超細或納米級鎢粉的最佳原材料，它是在精准控制溫度還原狀態下，生產仲鎢酸銨的過程中產生的。紫色氧化鎢主要用於生產金屬鎢粉和碳化鎢。

化學氣相沉積法則是以六氟化鎢（WF₆）為鎢源，利用鎢氟化物的熔點和沸點低的特點，採用精餾或蒸餾的方式提純，並在一定溫度下被H₂還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成後去除基底材料獲得緻密鎢坯，高純鎢是廣泛用於大型積體電路的金屬材料。