Ti摻雜WO3可以採用共濺射法製備得到。有專家就是採用的該法製備了Ti摻雜三氧化鎢薄膜。他們發現改變反應條件，如，增加氧氣室的壓力，實驗結果如下：

Co摻雜氧化鎢可以通過水熱法合成，具有粒徑均勻、純度較高、結晶性良好等優點。有專家分別在Na2WO4溶液和Co（NO3）2溶液中加入CTAB（十六烷基三甲基溴化銨），得到鎢酸沉澱和鈷酸沉澱，再將沉澱物轉移至反應釜中水熱反應12h，得到摻Co納米WO3。

Ce摻雜氧化鎢的製備可以採用固相燒結法實現，具有工藝過程簡單、成本低的優點。那麼，什麼是固相燒結法？如何利用固相燒結法合成氧化鎢或者摻雜氧化鎢？

Pt摻雜氧化鎢可以採用溶膠－凝膠法合成，具有工藝簡單，設備成本低，反應過程可控，且便於規模化生產薄膜材料等優點。有專家採用溶膠－凝膠法合成摻Pt的WO3薄膜，過程如下：