中船重工力爭2020年六氟化鎢產能世界第一

中國船舶重工集團公司第七一八研究所副所長郭建增接受採訪時表示，研究所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應商，為我國積體電路產業發展提供堅實支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，被稱作電子工業的“血液”，是大型積體電路、液晶面板行業生產 的關鍵材料。 然而，電子特種氣體過去長期被國外企業壟斷，嚴重影響我國半導體產業的發展與產業鏈完善，影響我國積體電路、半導體相關產品的國際競爭力。

郭建增介紹，中船重工第七一八研究所在國家重大專項的支持下，經過多年軍民融合、持續技術創新，相繼研製出高純三氟化氮、六氟化鎢等系列特種氣體產品，打破國外企業十幾年的壟斷，結束了該領域相關產品的高價時代，主要產品三氟化氮市場價格大幅下降，改變了我國高純特種氣體長期依賴進口的不利局面。

目前，七一八研究所三氟化氮、六氟化鎢生產規模均位居國內第一，三氟化氮、六氟化鎢的國內市場覆蓋率超過95%，國際市場覆蓋率達50％；其他7種氣體及10種混合氣體已研製成功並具備批產條件，得到了國內半導體龍頭企業的測試認證。

據介紹，七一八研究所將加快三氟化氮、六氟化鎢等主要氣體產能建設，加大國際國內兩個市場開拓力度，加快拓展半導體行業大宗氣體現場制氣業務，力爭在2020年前將三氟化氮、六氟化鎢等4種氣體產能及市場佔有率實現世界第一。

中船重工第七一八研究所創立於1966年，主要從事高能化學、三防技術、制氫及氫能源開發、特種氣體、精細化工、石油測井、環境工程、氣體分析、自動控制、核電消氫、變頻節能、空氣淨化、醫用制氧等方面的專業研究設計。

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