製備氧化鎢薄膜的方法有很多，根據薄膜的性質與製備方法及工藝條件，用不同方法製備的氧化鎢薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同，最常見的方法除了溶膠凝膠法還有濺射鍍膜法。

製備氧化鎢薄膜- 濺射鍍膜法，是通過高能粒子轟擊固體表面，是固體原子（或分子）從表面射出，並沉積到襯底或工件表面形成薄膜的方法，其中磁控濺射技術具有沉積速度較高、工作氣體壓力較低等獨特優越性，成為應用最廣泛的一種濺射沉積法。

首先以純度為99.95%的金屬鎢作為靶材，在氬氣和氧氣按1:1的體積比組成的混合氣體中濺射得到氧化鎢薄膜。濺射時，濺射功率為100W，基底矽片和靶材的距離為7cm。濺射2h得到的氧化鎢薄膜厚度大致為0.25-0.27μm。
 

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氧化鎢是一種鎢酸酐，是鎢酸鹽類產品，氧化鎢包括三氧化鎢和二氧化鎢，實際工業生產中並沒有二氧化鎢的製品，氧化鎢被廣泛運用於現代工業生產加工中。以下是氧化鎢用途：

1：氧化鎢被用於日常生活中的多種用途。它經常被用於工業X射線螢幕螢光粉及防火面料製造鎢酸鹽，也被用來作為陶瓷和油漆中的顏料。

2：氧化鎢也被用以生產電致變色窗，智慧窗。這些窗戶是自動開關的玻璃，透光性能與外加電壓的變化，著允許用戶色調他們的視窗，通過熱和光量的變化。

3：氧化鎢一部分用於生產化工產品，如油漆和塗料、石油工業催化劑等。但氧化物是一種中間產品，大量的氧化鎢被用於金屬鎢粉和碳化鎢粉，進而用於生產金屬鎢製品的生產，並大量應用與生產鎢的合金製品，入鎢銅、鎢鎳，鎢鎳鐵、鎢銀，鎢錸、鎢釷等，而當代工業領域中應用最為廣泛的則是以鎢為基材生產的各種牌號和用 途的硬質合金產品。
 

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製備氧化鎢薄膜的方法有很多，根據薄膜的性質與製備方法及工藝條件，用不同方法製備的氧化鎢薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同，最常見的方法有溶膠凝膠法。

製備氧化鎢薄膜-溶膠凝膠法，是將無機鹽和金屬醇鹽溶於溶劑中通過攪拌等方式制得均勻的溶液，溶質與溶劑產生水解反應，水解經縮句反應生成顆粒並形成溶膠，在制得溶膠的基礎上，可以採取浸漬提拉，旋轉塗覆、噴霧裂解、絲網印刷等工藝過程制得氧化鎢薄膜。

首先將純度99%的金屬鎢粉溶解在30%的雙氧水溶液中，由於反應放熱，需把盛溶液的燒杯置於冰水中不斷攪拌，並在溶液中加入鉑電極以加快雙氧水分解，接著把溶液防腐烘箱中60℃乾燥30h，得到一種黃色的玻璃態固體。取2g淡黃色固體溶解在15ml無水乙醇中，添加微量乙酸作為催化劑得到過氧鎢酸溶膠，溶膠溫室下靜置幾天，使用浸漬提拉法鍍膜，鍍膜後樣品在大氣環境下自發水解凝聚得到氧化鎢薄膜。
 

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氧化鎢是一種外觀呈黃色的斜方晶體，密度7.16。熔點1473℃。不溶于水和酸（除氫氟酸），能緩慢地溶於濃堿溶液。且氧化鎢具有氣體敏感性，常常被用於檢測二氧化氮，氨氣等有毒氣體的檢測。已經製備了氧化鎢膜氣敏感測器和氧化鎢的納米顆粒感測器，納米感測器的發現大大的提高了對於低濃度有毒氣體的檢測。

雖然說氧化鎢常常被用於有毒氣體的檢測，然而氧化鎢自身也有一定的危害性。接觸氧化鎢會使人的上呼吸道和深部呼吸受到刺激，受粉塵作用患支氣管哮喘，胃腸道功能紊亂；對皮膚有刺激作用，使皮膚上出現出現小結節和鱗屑。在美國鎢及可溶性鎢化合物(按鎢計)的最高容許濃度為1 mg/m，不溶性鎢化合物(按鎢計)為5 mg/m。操作人員要採用戴防毒口罩、手套、眼鏡，穿防塵服等防護措施。使用中防止粉塵洩漏。工人要做就業前體檢以及定期檢查。

可見，不管是使用氧化鎢檢測有毒氣體還是自身用以再加工，都應做好防護措施，以免給檢測加工者帶來不必要的危害。
 

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