氮化鎵微型發光二極管陣列 單片集成微透鏡藍寶石

氮化鎵微發光二極管（微型LED）與單片集成微透鏡已被證實。微透鏡，具有44微米的焦距和均方根的〜 1nm的方粗糙度，已被制作在微型LED的陣列的一個藍寶石襯底的拋光後表面由抗蝕劑熱回流和等離子體蝕刻。微透鏡的光學性質已經證明，以改變LED發射器的發射模式。光從這種混合裝置發出的錐顯著比傳統的廣泛區域的設備少發散。的微型發光二極管和微透鏡技術的結合提供了用於在基於氮化鎵的發光體的整體效率進一步提高的潛力。

基於單晶氮化鎵金屬半導體場效應晶體管（ MESFET ）的制備和表征。氮化鎵層是使用低pressuremetalorganic化學氣相沉積沉積在藍寶石襯底上。 MESFET器件是捏造的使用TiAu為源隔離的臺地和漏歐姆接觸和銀色的門肖特基。為具有4微米的柵極長度裝置（通道開放，即，源極到漏極的10μm的分離）， 23毫秒一個跨導/毫米是在-1 V柵極偏壓得到。觀察到-12 V的柵極電位完全夾斷。


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