a面氮化鎵上由金屬有機物汽相外延r面藍寶石襯底上直接生長

詳細內容: 分類：藍寶石長晶爐-鎢制品新聞; 發佈於：2014-01-26, 週日 11:57; 點擊數：1206

通過金屬有機汽相外延（MOVPE）法研究了非極性a面氮化鎵的直接生長於R-平面藍寶石襯底上發現氮化鎵的高密度成核生長在r面藍寶石基板在高溫生長的初始階段沒有緩沖層，這導致在a面氮化鎵的平坦表面上。我們還研究了生長條件對表面形貌和a面氮化鎵的生長特征的影響。結果表明，包圍面逆三角形的凹坑形成在相對高的V / III比，和橫向生長率沿c軸方向上以相對低的V/III比增強。

提出了以氮化鎵的選擇性外延延伸到橫向過度生長，並采取增長各向異性的優勢，產生應變自由的氮化鎵晶體。通過選擇性外延填充所述開口中的介電掩模後，橫向過生長發生反射的各向異性生長。這允許具有非平面的幾何形狀的樣品的制造。在選擇性外延被直至島聚結進行或者通過MOVPE或鹵化物氣相外延（HVPE ），金屬有機物氣相外延（ MOVPE ），而橫向過生長來實現。氮化鎵外延層是用常壓金屬有機物氣相外延在藍寶石上首先生長。電介質膜是氮化矽。開口均采用標准的光刻技術來實現。這些開口露出自由的氮化鎵表面，並通過MOVPE用於外延再生長，然後通過HVPE 。

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