在方向錯誤藍寶石襯底的MOVPE生長的氮化鎵薄膜

輕微的取向差從藍寶石（ α - Al2O3）的對MOVPE生長氮化鎵薄膜的表面形貌和發光性能的基板奇異面的影響進行了研究。宏臺階的形態與周期的梯田（單平面）和立管（群集步驟）已被觀察到，第一次對生長在3 °-10 °錯位定向藍寶石襯底向著兩個視圖的外延氮化鎵薄膜，並查看方向。此外，可以發現，在宏臺階導致陰極發光和電致發光（EL）的圖案中的鋅摻雜的氮化鎵薄膜的不均勻性，這表明鋅發光中心的形成依賴於平臺和提升管的生長面。

一種新穎的有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）系統，它有兩個不同的流動，已經研制成功。一個流進行並行氣體反應物到基材上，和其他惰性氣體垂直於基片，用於改變反應氣體流動的方向的目的。使用本系統的氮化鎵膜的生長嘗試，並在得到高品質的均勻薄膜英寸藍寶石基板。載流子濃度和霍爾遷移率是1 × 1018/cm³的和200平方厘米​​/ V秒，分別，這是最高的用於通過MOCVD方法在藍寶石襯底上直接生長氮化鎵薄膜。


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