氧化鋅在藍寶石上異質外延中化學氣相沉積取向關係

詳細內容: 分類：藍寶石長晶爐-鎢制品新聞; 發佈於：2013-12-25, 週三 11:45; 點擊數：1339

用CVD法在氧化鋅中的異質外延生長的各向異性進行了研究球面和透鏡形狀的藍寶石基板上。氧化鋅的層形成含有的各種取向的單結晶許多地區的地圖。通過結合等效類型這些地區，在氧化鋅和藍寶石之間的方位關係，六種不同的模式進行區分和分類。還研究了生長溫度和對多種氣體的反應速度和這些區域的程度的影響。結果，通過立體投影畫，可提供用於選擇和準備基板飛機取得高品質，即表面光滑，完美的高，高電子遷移率等具體的氧化鋅的實用指南。

化學氣相藍寶石上（SOS）的低溫沉積矽0.25 μm厚植入28Si +和通過爐內退火（FA ），並在實驗室紅外快速熱退火（RTA）進行重結晶在固相上。可以同時使用退火方法得到的結晶品質的改善。 FA之後，就很難保持固有的高電阻率值（ Ω 104-105釐米）中觀察到的生長的SOS膜，所以改進的過程，不能投入實際使用有效。然而，可以證明，通過適當地調節注入和RTA的條件下，在兩種膜品質和膜自動攙雜顯著改善可以完成。這項工作介紹了改性雙固相外延，其中作為土生土長的SOS薄膜的內在高電阻率被保留的過程。抑制鋁自摻雜的機理進行了討論。

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