改進控制15英寸直徑藍寶石晶體的生長

全球最大的藍寶石晶體可達340毫米直徑的熱交換法(HEM)生產。為了滿足所有的應用程式,純度最高的裂紋被藍寶石晶體使用,因此該產品具有雜質含量非常接近發光的探測極限放電質譜法(GDMS)。生產340毫米直徑的藍寶石晶體的電荷大小從55公斤增加到70公斤,直徑較大的380毫米,84公斤晶柱被生產了。這些晶柱被用於生產315毫米口徑,132毫米高的藍寶石缸,以滿足客戶的要求。努力已採取生產的HEM-晶柱生長幾乎平坦的頂面沿側壁起伏最小允許更大的藍寶石件生產製造晶柱。向上擴展的梯度爐技術已導致氧化鋁高達15釐米,直徑6.8釐米的高度和4.5公斤重的大單晶的生長。

一種技術的開發是為了檢測在坩堝生長的藍寶石晶體的上表面中央的結晶。這種技術需要在熔融和固體藍寶石在熔點的光吸收係數大的差異的優點,並且是基於高溫計讀數的整個生長過程中的記錄。在所觀察到的藍寶石表面的凝固點,膝發生在記錄曲線圖。積累的資料使能的生長速率在生長結束的優化,以及成長的由晶體冷卻開始的正確定時的持續時間。另外,也可以在早期階段檢測和終止不成功生長奔跑。


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