有源電力濾波器在長晶爐中的應用

生产蓝宝石衬底所使用的蓝宝石长晶炉的炉电源采用三相桥式全控整流电路将交流电整流为直流电，经电抗器平波后，成为一个恒定的直流电流源，再经单相逆变桥，把直流电流逆变成7KHz左右的单相中频电流。负载由感应线圈和补偿电容器组成，连接成并联谐振电路为电感性加热炉。

在生产过程中长晶炉将产生大量谐波电流，主要为2、4、5、7、8次谐波，其中2次谐波约占70%。调功率系统的电流有效值和谐波含量也会有相应的变化：在小负荷工作时，视在电流为60A，电流谐波畸变率为110%；在大负荷工作时，视在电流为150A，电流谐波畸变率为76%。长晶炉在工作过程中将产生60A~120A左右的电流谐波。


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