藍寶石長晶爐的國內現狀

臺灣與中國廠商的藍寶石長晶技術基本主要來自俄羅斯和烏克蘭。就技術差別來看,美國Rubicon採用ES2技術,在藍寶石生長爐2009年公司宣佈成功生長出"世界上最大的藍寶石晶體",重量高達200kg,可用以切出12吋藍寶石基板,Rubicon宣稱ES2技術產品缺陷率低於其他技術。美國Crystal Systems則采HEM熱交換法,日本廠商則多以拉晶(Czochralski Method,CZ 法) 與導模法為主(Edge-defined Film-fed Growth,EFG法),俄羅斯以KY法(Kyropulos Method,又稱泡生法)為主,臺灣與中國廠商長晶技術主要源於俄羅斯KY法,俄羅斯長晶技術轉讓費低,規模化生產後成本仍具吸引力。

目前藍寶石基板仍多以CZ法與KY法為主流,藍寶石基板以2-4吋為主,基於成本因素與設備廠商開發進程,預估短期轉至6-8吋機率仍較低。


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