泡生法藍寶石結晶爐走水電極

導電電極（走水電極、長晶爐主導電體）是藍寶石長晶真空爐的重要部件之一，是爐內加熱熱場與爐外電源連接的唯一通道；在爐內與熱場（鳥籠）直接搭接，延伸到爐外的導電柱通過導電夾、軟連接與電源櫃連接。
該部件的結構複雜，精度要求高，加工難度較大，主要體現如下：

（1）導電柱與爐蓋的結合：

導電電極是置放在藍寶石長晶真空爐膛內，要穿過爐蓋與外部電源連接，所以電極4個導電柱之間的公差要求極其嚴格，需要和爐蓋上的4個孔位距離完全一致。如有誤差，將無法裝配。

（2）導電電極在加工過程中變形的問題：

電極是由純銅原料加工而成，從原材料到成品，要經過很多道繁瑣工序，每道工序都會產生應力，故容易變形。尤其是在最後的焊接工序中，因為焊接過程產生的熱量會使應力釋放，工件很可能因此而造成嚴重變形，精加工的所有公差尺寸都會受到影響，且無法恢復進行重新調整。

（3）電機冷卻水的走水密封：

電極的截流能力遠遠大於導電要求，故導電電極自身不會發熱，但真空長晶爐內雖有隔熱裝置，但還是有較高的溫度傳導到電極。加熱熱場的電熱絲通過導電環會直接把熱量傳導到電極上。所以電極必須要通水冷卻來保證電極的正常工作，真空長晶爐是高溫高真空的工作環境才能有效長出晶體。故對電極的主體與導電柱、走水槽封板、工藝孔堵頭部分的焊接有非常嚴格的要求。既不能因焊接降低導電率，又絕對不能有任何細微的滲漏，否則就達不到真空要求，長不出晶體。


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