一種高溫下不變形鎢加熱子裝置的優點

使用高溫下不變形的鎢加熱子裝置具有以下顯著效果：

1.加熱鎢絲在高溫的情況下不會產生變形或者扭曲。即便是連續幾十小時或者是間斷累加幾百個小時的運作，都仍然能保持原來的形狀，這樣就能最大限度地延長鎢絲的使用壽命。不僅節約成本和時間，還確保了一系列比較實驗中實驗條件的同一性。
2.加熱鎢絲所覆蓋的襯底表面的溫度能基本保持均勻狀態，促使氣體分解的高溫鎢絲面積增大，能夠使氣體得到更充分的分解，提高氣體分解率。膜的品質和生長速率也相應得到提高。金剛石膜CVD生長實驗中，成核和生長都能保持均勻，且較高甲烷濃度（約2%）下仍然能保持較高的膜品質。這是因為鎢絲繞制方式改變後，氣體分解率提高了，襯底表面溫度變得均勻了，非晶成份被原子態氫刻蝕得更加充分。
3.加熱鎢絲中的電流比同樣長度的螺線管狀鎢絲中的電流有所增大，但是不至於超過原有的變壓器和引線的額定電流值，所以不用更換新的大電流變壓器，也不會受到反應室腔體大小的影響，能更加發揮出該型系統在成膜的基礎性研究上，抽氣、充氣、升溫和降溫速度快，功耗和氣耗小，成本低的優點，為CVD制膜的工業應用做好了小試的基礎。

該裝置可適用於金剛石膜，立方碳化硼膜和非晶矽膜的製備和生長的基礎性研究。

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