含鎢基材的拋光方法

詳細內容: 分類：鎢專利技術; 發佈於：2013-04-01, 週一 14:02; 作者 Elva; 點擊數：1597

本發明提供一種通過使用包含鎢蝕刻劑、鎢蝕刻抑制劑及水的組合物來化學－機械拋光含鎢基材的方法。其中該鎢拋光抑制劑為包含至少一個重複基團的聚合物、共聚物或聚合物共混物，該重複基團包含至少一個含氮雜環、或者叔或季氮原子。本發明進一步提供在含鎢基材的拋光中尤其有用的化學－機械拋光組合物。步驟如下：

1）使基材與拋光墊及化學－機械拋光組合物相接觸，該化學－機械拋光組合物包含：（i）鎢蝕刻劑，（ii）鎢蝕刻抑制劑，其中該鎢蝕刻抑制劑為包含至少一個重複基團的聚合物、共聚物、或聚合物共混物，該重複基團包含至少一個含氮雜環、或者叔或季氮原子，其中該鎢蝕刻抑制劑以1ppm至1000ppm的量存在，及（iii）水；

2）相對於該基材，移動具有位於該基材和拋光墊之間的該拋光組合物的該拋光墊；

3）研磨該基材的至少一部分以拋光該基材。

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