三氧化鎢陶瓷靶材的電致變色薄膜性能影響因素
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- 分類:鎢的知識
- 發佈於:2016-07-11, 週一 18:10
- 作者 chunyan
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三氧化鎢陶瓷靶材的製備:
1. 採用純度為99%的三氧化鎢粉末為原料,加入粘接劑球磨、乾燥、壓制成型;
2. 在電阻爐中經1200°C燒結呈三氧化鎢多晶陶瓷靶,打磨平整後即制得濺射靶材;
3. 採用導電玻璃為襯底材料濺射沉積1小時,完成鍍膜,得到電致變色薄膜。
實驗結論顯示,採用三氧化鎢陶瓷燒結靶,通過射頻反應磁控濺射方法製備的電致變色三氧化鎢薄膜具有如下特性:
1. 60%是三氧化鎢的最佳用量,壓強2.5Pa,功率145W;
2. 測試得出其對光調製幅度高達89.3%;
3. XRD測試表明,未真空熱處理薄膜呈非晶態,當溫度達到300°C左右開始出現較明顯的晶化現象;
4. 300°C的熱處理後,電致變色薄膜對光調幅度略有增加,變色存儲能力增強,其存儲時間達到32小時以上;同時,離子存儲能力增大到3.96mC/cm3;
5. 迴圈測試表明,適度溫度(300°C)處理後薄膜的迴圈性能變化很小,這說明它的壽命沒有縮短;但是,熱處理增加了薄膜的密度,致使薄膜回應速度變慢;
6. 當溫度高於300°C進行熱處理,薄膜的變色存儲時間稍微有增加,但是其它性能都極大的衰減,這說明,300°C為鍍膜後的最佳熱處理溫度,此時電致變色薄膜能獲得最佳的性能。
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