鍍膜機和鎢加熱子

蒸發鍍膜的原理是：先把鍍膜室內的氣體抽到10^-2Pa以下的氣壓，通過加熱蒸發源使放在蒸發源中的物質蒸發，蒸汽的原子或者分子從蒸發源表面逸出，沉積到基片上凝結形成薄膜，包括抽氣，蒸發，沉積等基本過程。鍍膜機主要由鍍膜室，真空獲得系統，真空測量系統和電路控制系統組成。其中鎢加熱子主要是放置在鍍膜室中作為蒸發加熱器。

可以選用電阻式加熱蒸發源——螺旋形鎢加熱子製備鋁膜。螺旋形鎢絲加熱子等同於一個電阻，通電後會產生熱量，電阻率也會相應的增加，當溫度為1000℃左右的時候，蒸發源的電阻率是室溫的5倍，蒸發源產生的焦耳熱就是能夠讓鋁原子得到充分的動能從而蒸發。

當鍍膜室抽到高真空的時候，將擋板遮蓋好鎢絲，避免預熔的時候，蒸散的鋁會噴到基片上。然後慢慢通電加熱鎢絲，這樣鋁就會熔化然後粘附在螺旋鎢絲上，這個過程就叫做預熔。其目的是將原來吸收在鋁中的雜質排除出去，這樣鋁在蒸發的時候就不會產生大量的放氣從而導致真空度得到破壞，這樣一來也保證了膜層的純度。

鋁熔化的溫度約為670℃，選用絲狀蒸發源是因為鋁對鎢絲有濕潤的作用，蒸發是從大的表面上進行，而且比較穩定，這種濕潤性和鎢絲表面的溫度有關。如果溫度過高，鋁和鎢在高溫下都會產生合金，極易造成鎢絲嚴重變形甚至燒斷以及鋁的噴濺。

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