石英連熔爐用鎢坩堝

石英玻璃是一種只含二氧化矽單一成份的特種玻璃，其微觀結構是一種由二氧化矽四面結構體結構單元組成的單純網路，具有緊密的結構，其中透明石英玻璃的光學性能非常優異，在紫外到紅外輻射的連續波長範圍都有優良的透射比。通過連熔爐製備的石英玻璃可廣泛應用與半導體生產的各項工序中。

鎢坩堝具有熔點高，沸點高，高溫強度好的優良特性，因此廣泛應用于石英玻璃連熔爐中。目前主要的工藝裝備是將鉬電極和64根鉬棒裝置在連熔爐內的加熱裝置，這些鉬電極和鉬棒均勻的散佈在鎢坩堝的周圍。當電極導電加熱時，作為導電發熱體的64根鉬棒會使鎢坩堝不斷升溫。但是，該工藝設備有一個比較嚴重的缺陷。當這64根鉬棒作為導電發熱體時，鉬棒之間存在的8-12mm的距離問題會造成鎢坩堝的升溫不均，從而延長了鎢坩堝的升溫時間，這樣會大大降低連熔爐的生產效率。可以將連熔爐中的鎢坩堝的頂部設置加料管和鎢芯杆保護氣的入口，在鎢坩堝底部放置成型器料台，料台中間應該設有成型口，並且將加熱裝置放在鎢坩堝的外部。用鉬網代替鉬棒均勻的覆蓋鎢坩堝的表面。鉬網的均勻覆蓋可以使鎢坩堝受熱均勻，以此有效解決成型石英管的氣泡和氣線內在的品質問題。

鎢坩堝除了廣泛應用于石英連熔爐，還對粉末冶金技術，電子噴塗，晶體生長具有重要作用。

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